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年吉研究室へようこそ。当ラボは、東京大学生産技術研究所(駒場)のマイクロナノ学際研究センターに所属するMEMSの研究室です。このページでは、MEMSという単語を初めて聞いたという人のために、その歴史、概念、技術、応用などを紹介します。 MEMSは、「めむす」と読みます。英語の Micro Electro Mechanical Systems の略称で、アクセントは「め(・)むす」の「め」にあります。この単語の末尾はSystemsであり、複数系で使われることが多い単語です*1。MEMSを直訳すると、「微小電気機械システム」、すなわち、ミクロン*2スケールの非常に小さな機械のことです。学術分野名としてのMEMSのことをマイクロメカトロニクスと呼ぶこともあり、また、MEMS技術による微小な機械のことをマイクロマシンと言うこともあります。ちなみに、マイクロマシニングとは、これらの微小構造を作るため
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