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マイクロマシン・MEMS技術分野における専門用語集で、マイクロマシンセンター標準化事業委員会が1998年に作成したものが基本になっています。その後、この専門用語集をベースに国際規格化を進め、2005年に【IEC62047-1】として発行されました。さらにJIS化にも取り組み、2008年には 【JIS C 5630-1】が発行されました。 JIS発行に併行して、この専門用語集を2008年に改訂しました。現在、本専門用語集はMEMSペディア活動の一環としても位置づけられています。 収録する専門用語の数は258語。 英語版用語集も利用できます。 ファインMEMSプロジェクトで開発された「MEMS等価回路ジェネレータ」は、MEMSと電気回路の集積化や多種類のMEMSの組合せによる集積化に関する研究開発が活発化し、製品に関する成功事例も出現する中、システム全体として電気等価回路を用いたアプローチなど
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