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流量の単位 sccm ccm slm 真空装置において、各種ガスを真空装置内に導入することがよくあります。 このときの流量の単位が、sccm ccm slm などです。これらの単位は、私が調べた限りでは公的機関が規格として管理している単位ではないようです。 そのため、各社が個々別々の基準で使用している可能性もあることをご了解ください。 ccm cc (cm3)/min、1分間あたりに 何ccという形式で流量を表示します。 通常は、1気圧 で sccm と同じに扱われることもありますが、室温付近で定義される場合もあります。 sccm standard cc/min、1atm (大気圧 1013 hPa)、 0℃あるいは 25℃など一定温度で規格化された ccmです。 温度は0℃ が多いのですが、メーカーによって定義が異なる場合があります。 精密な数値が必要な場合は各メーカーに御相談ください。
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