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ノーベル賞
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TULA 超小型超音波モータ 一般にアクチュエータとしては、電磁式、流体式(空圧、油圧)が主流ですが、近年全く新しい超音波モータが登場し、産業用をはじめデジタルカメラや携帯電話等のモバイルのアクチュエータにも採用されております。 また、現在ではMEMSといった分野の微細化が進んできております。 弊社が提供する超小型超音波モータは、韓国 ピエゾテック社(Piezoelectric Technology Co.,Ltd)にて国の研究機関(KIST:Korea Institute of Science and Technology)で電圧超音波モータに関する研究を行い、産業化できる製品開発に成功したものです。この超小型超音波モータと弊社開発の超小型高分解能エンコーダを搭載した各種ステージ、ドライバ・コントローラ等で高精度な微細構造の自動化の展開が具体的になります。 TULA 特長 TULAは軸の
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