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ICの製造における、超微細加工の要と言える、フォトリソグラフィ。 そこには、ステッパーの技術が大きく貢献しています。 前回の“ICはどのようにしてつくられるか”では、IC製造の大まかな工程をご紹介いたしました。今回はその工程の中で特に素子の集積に必要な微細加工の中核となる“フォトリソグラフィ”についてお話します。 “フォトリソグラフィ（photolithography）”とは「光を用いた写真蝕刻技術」のこと。英文からもわかるように、写真を意味する“photo”と、（石版）印刷を意味する“lithography”に由来しています。つまりフォトリソグラフィとは写真技術を応用した（石版）印刷ということになります。もう少し詳しく説明すると、石英（ガラス）板の表面にクロム（Cr）でICの回路パターンを描いたレチクル（もしくはフォトマスク）と呼ばれるものに光を当て、レンズによってこのパターンを1/