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半導体製造工程の要所要所で行われる「計測」「検査」には、精度の高い装置が必要となります。では、高精度の計測装置とはどんな装置でしょうか？ 一般に言う「精度」は、厳密には「正確度」と「精密度」、または、「真度」と「精度」の2種類があります。英語では、「正確度：accuracy」と「精度：precision」の違いがあります。 「正確度（Accuracy）」とは、「真値」にどれだけ近い値であるかを示す尺度です。一方、「精度（precision）」は、複数回の測定等の値の間での互のばらつきの度合いの尺度で、「再現性」ともいいます。

X線は、可視光線と同じ電磁波の一種であるが、その波長が100Åから0.1Åと非常に短いだけ異なっている。そして一般の電磁波に比べX線は容易に物質を透過し、その程度は物質に含まれる原子の原子番号が小さくなるほど強くなる。蛍光X線分析は、X線を物質に照射し発生する固有Ｘ線（蛍光X線）を利用する方法である。その蛍光X線とは、照射したX線が物質構成原子の内殻電子を外殻にはじき出し、空いた空間（空孔）に外殻電子に落ちてくる時、余ったエネルギーが電磁場として放射されたものである。その蛍光X線の発生図を図1に示す。これら、蛍光X線は、元素固有のエネルギーを持っているので、そのエネルギーからモズレー則により定性分析が、そのエネルギーのＸ線強度（光子の数）から定量が可能になる。 蛍光X線分析は、X線領域の分光分析であると言える。試料を溶液化して測定する原子吸光分析・発光分光分析と同じ性質を持っている。例えば